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御龙在天冰法技能加点: 薄膜測厚儀[產品打印頁面]

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產品名稱: 薄膜測厚儀
產品型號:
產品展商: 上海升利
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簡單介紹

薄膜測厚儀可快速**地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統理論基礎為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實驗室中擺放和使用


薄膜測厚儀  的詳細介紹

御龙在天十大烧钱名人 www.nblwg.icu 技術參數

測量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長

400 nm - 1100 nm

主要測量透明或半透明薄膜厚度

  • 氧化物
  • 氮化物
  • 光刻膠
  • 半導體(硅,單晶硅,多晶硅等)
  • 半導體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
  • 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)
  • 聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
  • 金屬膜

特點

  • 測量和數據分析同時進行,可測量單層膜,多層膜,無基底和非均勻膜
  • 包含了500多種材料的光學常數,新材料參數也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
  • 體積較小,方便擺放和操作
  • 可測量薄膜厚度,材料光學常數和表面粗糙度
  • 使用電腦操作,界面中點擊,即可進行測量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準確度

0.2%或1nm

穩定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標準3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測器

  • 400 - 1100 nm 波長范圍
  • 光譜分辨率: < 1 nm
  • 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

光源

  • 5W的鎢鹵素燈
  • 色溫:2800K
  • 使用壽命:1000小時

反射探針

  • 光學纖維探針,400um纖維芯
  • 配有分光儀和光源支架

載樣臺

測量時用于放置測量的樣品

通訊接口

USB接口,方便與電腦對接

TFCompanion軟件

  • 強大的數據庫包含500多種材料的光學常數(n:折射率,K:消失系數)
  • 誤差分析和模擬系統,保證在不同環境下對樣品測量的準確性
  • 可分析簡單和復雜的膜系

設備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg

蘇公網安備 32058302001659號