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御龙在天手游哪个职业好全职业优劣评估: 供氣(混氣)系統[產品打印頁面]

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產品名稱: 供氣(混氣)系統
產品型號: SL-4L
產品展商: 上海升利
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簡單介紹

供氣(混氣)系統本供氣(混氣)系統可用于多種氣體單一/混合連續供氣系統,尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠! 本系統廣泛用于CVD供氣系統,氣體?;ど戰?,氣體?;ね嘶鸕?。


供氣(混氣)系統  的詳細介紹
供氣(混氣)系統
本供氣(混氣)系統可用于多種氣體單一/混合連續供氣系統,尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠!
本系統廣泛用于CVD供氣系統,氣體?;ど戰?,氣體?;ね嘶鸕?。

主要特點:
1.本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用,而不會造成大氣進入加熱爐管。
2.氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。
3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。
4.顯示流量準確,可有效地控制氣體消耗量。
5.所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

技術參數:
氣路通道:4(可根據客戶需求設計1-8通道)
氣路流量控制器采用質量流量計控制:
標準量程(N2) :200,500 SCCM
        度 :±1.5%
          性 :±0.5~1.5%
重 復 精 度 :±0.2%
響 應 時 間 :氣特性 1~4 See
                  電特性 10 See
工作壓差范圍    :0.1~0.5 MPa
*  大 壓 力 :3 MPa
          口 :Φ6,1/4”
          示 :4位數字顯示
工作環境溫度:5~45
高純氣體不銹鋼管:Φ6外X Φ4內
壓 力 真 空 表 :-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
        閥 :Φ6

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